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    Chapter and Conference Paper

    Quantitative interferometrische Messungen technologisch bedingter Verformungen an mikromechanischen Schwingspiegeln und dessen Schwingungsanalyse

    In einer ständig wachsenden Anzahl moderner Gerätesysteme finden mikromechanische Bauelemente Verwendung. Am Beispiel mikromechanischer Schwingspiegel zur Laserstrahlpositionierung werden die Möglichkeiten der...

    V. Großer, C. Bombach, W. Totzauer… in Laser in der Technik / Laser in Engineering (1992)