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  1. No Access

    Chapter

    Kenngrößen von piezoresistiven Silizium-Elementardrucksensoren

    Die Vorteile piezoresistiver Sensoren gegenüber anderen Druckmeßprinzipien, insbesondere hohe Empfindlichkeit, kleine Bauform und geringe Fehler, sind bereits vielfach beschrieben worden. Da von verschiedenen ...

    Uwe Baumann, Günter Ehrler in Sensoranwendungen (1995)