Elektronenoptische Systeme

Zusammenfassung

Unter Elektronenoptik versteht man die rechnerische oder experimentelle Darstellung der räumlichen Bahnen von Elektronenstrahlen, auf die elektrische und magnetische Felder einwirken (vgl. hierzu Abschnitt 2), sowie der Gesetzmäßigkeiten, die für die optische Abbildung mit Hilfe von Elektronenstrahlen gelten. Voraussetzung für das optische Verhalten eines Elektronenstrahls ist die geradlinige kollisionsfreie Bewegung der Elektronen im (feldfreien) Vakuum bei vernachlässigbarer Raumladung. Dies ist bei einem Restgasdruck $p \lessapprox {10^{{ - 6}}}$ mbar der Fall, weil dann die mittlere freie Weglänge der Elektronen zwischen zwei Zusammenstößen mit Gasmolekülen sehr viel größer als die Elektronenstrahllänge ist. Die Elektronenoptik weist eine Reihe von Analogien und Unterschieden zur Lichtoptik auf (vgl. Tabelle 9).